Post by account_disabled on Jan 28, 2024 22:49:18 GMT -6
半导体计量专家Woooptix于 日在加利福尼亚州展示了 WFPI（波前相位成像）的最新数据。展览的标题是“硅晶圆形状测量的可重复性研究”，将于下午 2:10 在旧金山莫斯康中心 312 室（南 3 层）举行。 此次演讲将在 SPIE 西部光子学博览会期间举行，该展会被称为“世界领先的激光、生物医学光学和生物光子学、量子和光电子技术盛会”。 关于 Woooptix 的介绍，该公司业务开发副总裁 Jan Olaf 表示：“我们将 WFPI 介绍为一种新技术，具有高分辨率，可使用晶圆不受任何影响的系统以非常高的速度采集大量数据。不受重力影响，并且根据 Semi M49 标准测量具有非常高的重复性。
波前相位成像 (WFPI) Woooptix 推出波前相位成像 (WFPI)，这是一种新的晶圆几何技术，可在 12 秒内在完整的 300 mm 晶圆上采集 1630 万个数据点，提供 65 μm 的横向分辨率，同时保持晶圆垂直。 请记住，对于在大 消费者电子邮件列表 批量制造环境中工作的晶圆形状系统，可重复性是必须测试的关键指标。“先进的光刻图案化工艺需要晶圆的自由、非重力形状的详细地图，以避免因焦深问题引起的重叠错误，”Jan Olaf 继续说道。 “用于制造集成电路 (IC) 的硅晶圆的平整度受到严格的公差控制，以帮助确保整个晶圆足够平整，适合光刻加工，”他总结道。
SPIE 西部光子学 SPIE Photonics 涵盖以下特色技术：激光器和外围设备、光束调节和转向组件、光束测量和分析仪器、CCD 相机和组件、光纤组件、设备和系统、光学组件和硬件、光通信、光学探测器、高速成像和传感器、光学材料和基板、红外源和探测器、电子成像元件、光学涂层、透镜和滤光片、定位系统和支架、计量和测试设备、设计和模拟软件。 SPIE Photonics West 将在旧金山莫斯康中心举行。如果您有兴趣购买门票，可以点击此处。 关于 WOOPTIX Woooptix 是使用波前相位成像的半导体计量领域的领导者，这是一种源自天文学自适应光学研究的技术。
波前相位成像 (WFPI) Woooptix 推出波前相位成像 (WFPI)，这是一种新的晶圆几何技术，可在 12 秒内在完整的 300 mm 晶圆上采集 1630 万个数据点，提供 65 μm 的横向分辨率，同时保持晶圆垂直。 请记住，对于在大 消费者电子邮件列表 批量制造环境中工作的晶圆形状系统，可重复性是必须测试的关键指标。“先进的光刻图案化工艺需要晶圆的自由、非重力形状的详细地图，以避免因焦深问题引起的重叠错误，”Jan Olaf 继续说道。 “用于制造集成电路 (IC) 的硅晶圆的平整度受到严格的公差控制，以帮助确保整个晶圆足够平整，适合光刻加工，”他总结道。
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